勻膠、顯影處理系統(tǒng)-Auto Track

 瀏覽:0 更新時間:2020-08-11

勻膠、顯影處理系統(tǒng)-Auto Track

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產(chǎn)品特點:

同一設備實現(xiàn)2"-8"晶圓兼容.

涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能.

同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行.

干濕分離,電液分隔.

維護省力、簡便.

設備和各工位全封閉設計,不受外環(huán)境干擾可獨立增加層流罩,提升小環(huán)境潔凈度.