勻膠、顯影處理系統(tǒng)-Auto Track
產(chǎn)品特點:
同一設備實現(xiàn)2"-8"晶圓兼容.
涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能.
同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行.
干濕分離,電液分隔.
維護省力、簡便.
設備和各工位全封閉設計,不受外環(huán)境干擾可獨立增加層流罩,提升小環(huán)境潔凈度.
勻膠、顯影處理系統(tǒng)-Auto Track
產(chǎn)品特點:
同一設備實現(xiàn)2"-8"晶圓兼容.
涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能.
同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行.
干濕分離,電液分隔.
維護省力、簡便.
設備和各工位全封閉設計,不受外環(huán)境干擾可獨立增加層流罩,提升小環(huán)境潔凈度.
技術支持:藍色海岸 備案: 陜ICP備2021011239號-1